產品規格
| 型號 | RTP-300 |
| 裝載區域 | 305 × 305 × 25 mm |
| 腔室材料 | 鋁（可選石英玻璃室） |
| 溫度範圍 | 高達650 °C |
| 加熱 | 24個紅外燈（18 kW）和2個質量流量控制器 |
| 冷卻 | 需要水冷 |
| 微波發生器 | 用於等離子清洗（0.1-1.5mbar）或去除氧化抗蝕劑2.45GHz，600Ｗ |
| 外部尺寸 | 600 × 1850 × 880 mm |
| 重量 | 150-200 kg（取決於真空泵系統） |
| 電源 | 3P/N/PE，AC 230/400V，50/60 Hz，3×32 A，18 kW |
等離子溫度處理爐 RTP-300
- 廠牌：德國UNITEMP
- 適用於表面活化清潔和塗層、晶圓或基板的特殊表面處理、無助焊劑焊接、倒裝晶片工藝、粘接、焊球回流、功率器件的焊接、原型開發等。
- 具有最大零件裝載區域的通用溫度和等離子清洗機。
- 精確控制的快速上升和下降速率。
- 紅外燈底部加熱。
- 背面的真空接頭可連接真空泵系統。
- 2條帶有質量流量控制器和電磁閥的氣體管線。
選購配件
| 項目 | 說明 |
| PTP-AL | 自動加載 |
| PTP-MFC | 質量流量控制器 |
| PTP-RVP | 真空度高達10-3mbar的雙級旋片泵 |
| PTP-HVP | 帶閘閥和真空測量的渦輪分子泵，真空度可達10-6mbar |
| PTP-WC | 閉環水冷系統 |
