產品規格
| 型號 | 2Z-HVS-200 |
| 加熱區域 | 直徑200 mm |
| 適配器數量 | 最多6個 |
| 基材尺寸 | 最大42 mm |
| 真空能力 | 10-6 hPa（包含泵） |
| 最高溫度 | 頂部450°C，底部200°C |
| 上升速率 | 20 K /min（真空中） |
| 下降速率 | 20 K /min（真空中） |
| 尺寸 | W805 × D500 × H820 mm |
| 重量 | 105 kg（包含泵） |
| 電壓 | 230/400 V AC, 3P, +N, 50-60 Hz, max. 3 × 16 A, 9 kW |
雙加熱區高真空密封機 2Z-HVS-200
- 廠牌：德國UNITEMP
- 應用於MEMS（微機電系統）的密封和熱封裝，吸氣激活（放置在真空系統內的反應材料的沉積），在2個溫度區進行熱處理時的成分分離。
- 多達4條內部氣體管線。
- 過程數據紀錄。
- 真空度高達10-6 hPa。
- SIMATIC®控制器。
- 360°C光學過程控制。
