Specification
Model | CYG-DS1200 |
UPH | ≤8K(依據晶片尺寸、取放製程參數而異) |
晶片尺寸 | 0.5×0.5mm~25×25mm |
晶片厚度 | 0.2~0.7mm |
取放精度 | XY±50um(3σ),θ±1° |
取晶壓力 | 60~250g |
晶圓尺寸 | 12吋(可選8吋/6吋) |
晶圓上下料 | 全自動上下料(12吋晶圓提籃供料) |
晶圓MappingFile格式 | 支援標準晶圓地圖格式 |
晶圓分Bin數量 | 1bin、(可選3bins) |
載盤上下料 | 全自動上下料(堆疊入料/堆疊出料,30盤) |
載盤尺寸 | 2″、3″、4″ Chip Tray |
晶圓識別系統 | 可判別墨點 |
圖像識別精度 | 5um |
相機系統 | 256灰階 |
Weight | 約1200kg |