Specification
Model | CYG-DB1200 |
UPH | ≤5K(依據晶片尺寸、點膠制程、取放制程參數而異) |
邦頭數量 | 1個 |
取放頭數量 | 1個 |
晶片尺寸 | 0.75×0.75mm~25×25mm |
晶片厚度 | 75~700um |
載板尺寸 | 最大300×100mm |
載板厚度 | 0.5mm |
貼片精度 | XY±20um(3σ),θ±0.5° |
晶圓MappingFile格式 | 支援標準晶圓地圖格式 |
點膠方式 | 支援畫膠功能、可選畫膠路徑 |
圖像識別精度 | 5um |
視覺光源 | 256灰階 |
布針方式 | 單針或多針 |
邦頭旋轉範圍 | ±45° |
邦頭取放力控 | 50~3000g |
邦頭取放力控精度 | ±10% |
邦頭貼片力控 | 50~3000g |
邦頭貼片力控精度 | ±10% |
邦頭視覺 | 2.4×3.2mm |
晶圓尺寸 | 12吋(可選8吋) |
晶圓上下料 | 全自動上下料(12吋晶圓提籃供料) |
Weight | 約2500kg |