Specification
| Model | AM-5X | AM-10X |
| 工作範圍 | 400×800mm | 400×800mm |
| 貼裝器件尺寸範圍 | 0.03~100mm | 0.03~100mm |
| 綜合貼裝精度 | ±2.5μm 3sigma | ±5μm 3sigma |
| XY驅動形式 | 直線電機 | 直線電機 |
| 行程 | X:400mm Y:900mm Z:80mm T:360° | X:400mm Y:900mm Z:80mm T:360° |
| Resolution | X/Y/Z: 0.5μm T: 0.003° | X/Y/Z: 1μm T: 0.005° |
| 鍵合力控制 | 20~500g | 20~500g |
| 視覺系統 | 解析度1μm | 解析度2μm |
| 照明系統 | RGB全色域環形光源 | |
| 固定上料方式 | Gel-pack, Tray, Wafflepack, feeder等 | |
| 能源 | 220V, 10A, 0.5Mpa壓縮空氣 | |
| Dimension | 1050×1550×1850mm（不包含顯示器） | |
| Weight | 1800kg | |
| Optional | 過程監控系統、夾持型拾取工具頭、MagazineTransferSystem、Cassette、Wafertable、WaferTransferSystem、工藝保護氣體、點膠系統、固化系統、帶摩擦功能的共晶焊接系統、雷射熱壓鍵合系統 | |
