Specification
| Model | ILX-2000 |
| X射線管種類 | Micro Focus 密閉光源（密閉型） |
| X射線管電壓 | 40-130kV |
| X射線焦點徑 | 5μm |
| 檢查範圍 | 50×50-510×460mm |
| X-Y軸行程 | X軸 : 600mm Y軸 : 600mm |
| 元件高度 | 基板上25mm, 基板下25mm |
| 檢查分解能 | 10μm, 15μm, 20μm |
| 基板搬運寬度 | 3mm |
| 基板厚度 | T=0.8-2.0mm |
| X射線受像部 | FOS耐用型X射線平板， 1,000×1,000pixel, 14bit（16384階調） |
| 顯示螢幕 | 24英吋LCD |
| 空氣壓力 | 0.49Mpa |
| Power Supply | 單相 AC200-240V 3k VA |
| 設備尺寸 | W1250 × D1350 × H1400 mm |
| Weight | 1300kg |
| X射線洩漏量 | 1μSv/h以下, 不需要X射線操作資格 |
