產品規格
| 型號 | CMM-3000 |
| 設備尺寸 | L1385mm×W1105mm×H2250mm |
| 設備重量 | 1500kg |
| 工作效率 | 檢測效率≥2500PCS/H（單載板數量≥30PCS） 除塵效率≥2300（按2%不良率，單次除塵計算） |
| 像素 | particle約70M wire約12M |
| 視場 | 12.8mm×9.6mm |
| 聚焦範圍 | particle：12.8mm×10.6mm wire：25mm×20mm |
| 景深 | particle：600um（可微調） wire：60um |
| 像素解析度 | particle：1um wire：25um（根據10×10mm視野核算） |
| 檢測方式 | 自動檢測、手動檢測可選 |
| 保護功能 | 自動報警功能、急停功能 |
| 除塵功能 | 自動除塵，相容不同長度除塵棒、除塵棒放置數量20支、防呆功能 |
| 其他功能 | 三級操作權限、可以保存Load檔並可以導入修改 |
| 使用環境 | 溫度10-25℃，濕度35%-80%RH（無結露） 室內潔淨度10級FFU |
| 氣壓 | 0.2-0.3 MPa |
| 電壓 | AC 220V（單相） |
