產品規格
型號 | MS-1 |
裝載區域 | 最大尺寸為 8″ 的晶圓 或 200 × 200 mm的基板 |
調整 X/Y | 通過千分尺螺絲和 XY 工作台調整 |
視覺對位系統 | 5兆像素相機 |
真空 | 集成真空泵和吸盤 |
尺寸 | 400 × 500 × 352 mm |
重量 | 25 kg |
型號 | MS-1 |
裝載區域 | 最大尺寸為 8″ 的晶圓 或 200 × 200 mm的基板 |
調整 X/Y | 通過千分尺螺絲和 XY 工作台調整 |
視覺對位系統 | 5兆像素相機 |
真空 | 集成真空泵和吸盤 |
尺寸 | 400 × 500 × 352 mm |
重量 | 25 kg |